无人驾驶、电子稳定、自动导航……万物互联时代，汽车产业的发展逐渐进入电动化、智能化和无人化的新时期，在这背后，有一项关键技术发挥重要作用，这就是微电子机械系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System）。

“MEMS尺寸最大的不超过一个厘米，最小的仅为几个微米。就是这么微小的器件，能够把信息的获取、处理和执行集成在一起，组成具有多功能的微型系统，从而大幅度地提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。”作为国内最早从事MEMS技术与产品探索研发的企业，近年来，中国电科产业基础研究院河北美泰电子科技有限公司始终以雄厚的技术实力、扎实的产品积累，沿着产业化创新发展之路，领跑汽车传感器新赛道。

惯性器件新发展抢占自动驾驶制高点

“这个车的方向盘自己转，不用人操作，即可自动驾驶。”技术人员介绍，使用惯性传感器就能感受汽车最基本的速度、位置的变化，实现自动泊车、自动驾驶，而这其中的关键核心技术是该公司完全自主研发的。

“MEMS惯性器件是汽车自动驾驶的传感器核心芯片，可应用于检测和测量汽车加速度、倾斜、旋转和多自由度运动，是解决导航、定向和运动载体控制的重要部件。”技术专家介绍，该系列惯性器件，具有体积小、重量轻、可靠性高、功耗低、成本低、可大批量生产等优点，已经通过了车规级最高规格的AEC-Q100认证。

之所以能够通过严苛的车规级认证，与美泰科技长期在MEMS领域的专注与坚持是分不开的。作为国内MEMS惯性器件的先行者，美泰科技率先开始了MEMS技术与产品的探索与研发，推出了我国首款实用化MEMS加速度传感器，占领了惯性技术的高地。

瞄准产业化市场，美泰科技敏锐洞察到了MEMS惯性器件在汽车领域中的重要作用，推出了集成的MEMS惯性/卫星组合导航系统，该款产品能够输出高实时性、高连续性的车辆姿态、方位、位置、速度信息等传感数据，具有不间断厘米级定位精度、不受外界干扰等独特优势，实现了对自动驾驶汽车“全天候”精确定位定向，也在国际上首次实现MEMS惯性器件用于自动驾驶领域，目前已成功批量应用于国内主流头部车企重点车型，累计出货超20万套。

MEMS传感器实现百万量级交付

9月22日，从中国电科产业基础研究院获悉，该院自主研发的两款MEMS（微电子机械系统）传感器实现“百万量级”装车交付，在汽车MEMS传感器自主创新方面走在了全国前列。

MEMS传感器作为汽车上的一个重要电子元件，就像汽车的“电五官”，能够获取信息、执行控制。“为抢抓汽车传感器芯片发展机遇，我们围绕新能源汽车布局了十余类MEMS传感器系列产品，并逐一产品、逐个指标设立攻关榜单，不断在关键核心技术及生产制造平台上创新突破。”中国电科产业基础研究院河北美泰电子科技有限公司技术专家王建志表示，公司自主研发的MEMS惯性器件与系统已累计实现“百万量级”装车交付，并获得多家重点新能源车企定点订单，自主研发的MEMS压力传感器今年获得200万只订单。

据悉，该院自主研发的MEMS压力传感器可广泛用于汽车机油压力、发动机进气压力、空调系统、油箱蒸汽压力、新能源电池温度压力等关键部位，能够完全替代国际主流产品。

据介绍，MEMS惯性器件与系统能输出高实时性、高连续性的车辆姿态、方位、速度信息等传感数据，具有不间断厘米级定位精度、不受外界干扰等独特优势，实现了对自动驾驶汽车“全天候”精确定位定向。MEMS压力传感器广泛用于汽车机油压力、发动机进气压力、油箱蒸汽压力、新能源电池温度压力等系统的关键部位。

“我们将持续聚焦核心竞争力，加快建立自主完备的智能传感芯片整套产品技术开发和批量产业化技术链，努力实现MEMS传感器在汽车产业的全覆盖，引领传感器产业可持续、规模化发展。”王建志表示。

领跑汽车传感器新赛道

作为国内MEMS惯性器件的先行者，美泰科技抢抓MEMS惯性器件在汽车领域的发展机遇，不断加大研发投入、持续提升产能、加强供应链建设，实现MEMS惯性器件与系统在自动驾驶市场的全覆盖，加快MEMS传感器产业化的全速发展，成功入围第四批国家级“专精特新”小巨人企业，并连续多年荣获中国半导体MEMS十强企业。

“我们研发生产的都是超小体积的高科技产品，通过创新工艺让汽车传感器产品具有更多可能！”在美泰科技的传感器部，产品设计师拿起了最新的8英寸倒装焊压力晶圆。“这一片上面有2万颗感应芯片，每个芯片只有一颗小米粒大小，比以前的传统技术芯片体积缩小了几百倍，但灵敏度更高了！”

这种自主研发的倒装焊压力芯片通过无引线装技术，可以应用在各种介质中，具有应力小、精度高、体积小、低成本的优势，广泛用于汽车机油压力、发动机进气压力、空调系统、油箱蒸汽压力、新能源电池温度压力等领域，已累计出货近百万只。面向未来，美泰科技将聚焦核心竞争力，借助感知力量，打造极致产品，持续提高自动化、智能化和可靠性水平，不断推动中国MEMS技术高质量发展。

近年来，美泰科技持续提升产能、加强供应链建设、强化质量改进，实现MEMS惯性器件与系统在自动驾驶市场的全覆盖，加快MEMS传感器产业化的全速发展，成功入围第四批国家级“专精特新”小巨人企业，并连续多年问鼎中国半导体MEMS十强企业。值得注意的是，中国电科产业基础研究院的这一突破也得到了合作伙伴美泰电子科技有限公司的大力支持。美泰电子科技有限公司拥有先进的MEMS传感器生产线，为中国电科提供了强大的制造保障和技术支持。

总之，中国电科自主研发并实现百万量级装车交付的两款MEMS传感器标志着我国汽车行业在智能化和可靠性方面取得了重要突破。这一成果将推动我国汽车系统向更高水平发展，并为未来智能出行提供坚实支撑。